FB-x26 BUMP3晶圓植球機(jī)，雙工作臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立溫控，降低破片風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)效率。可對(duì)應(yīng)4寸、6寸及8寸晶圓，可搭配晶圓上料機(jī)。
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